コフロックが半導体製造向け開発、新型マスフローコントローラーが実現すること - ニュースイッチ

ＭＦＣは流量センサーと制御バルブの一体化機器。同センサーからの流量信号と、外部からの流量設定信号との比較制御でバルブ開度を調整し、流量制御する。関連キーワードはありません